Method for purification of lens gases used in photolithography
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[0008] A limited number of decontamination processes and products have been used in the past to produce "lens gases" of acceptable levels of purity.
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[0010] For example, optical metrology devices may be within or outside the lithography tool itself. When the device is in the tool the metrology optics and laser beam become an integral part of the lithography tool.
https://patents.google.com/patent/US20020139247A1/en
(Einziger Treffer für "lens gas", und ohne Übersetzung)

"Lens gas" ist im Internet sonst nicht zu finden, beide Einzelbegriffe tauchen meist nur in der Kombination "Gas lens" auf, und speziell in Verbindung mit den MIG/TIG/WIG-Schweißverfahren.

A gas lens replaces the collet body in the assembly of a TIG torch (but not the collet itself!), so it does the same things for the most part. It holds the collet in place and distributes shielding gas over the weld.
https://unimig.com.au/collet-body-vs-gas-lens/

[0006] Die Elektroden, die beim TIG-Schweißen verwendet werden, sind im Allgemeinen als lange, zylindrische Metallstäbe ausgebildet. Eine typische TIG-Schweißelektrode kann an einem TIG-Schweißbrenner durch eine Zwinge, ein Endkappe und eine Gaslinse befestigt werden. Gaslinsen sind dazu angepaßt, eine bessere Gasflußcharakteristik als Zwingenkörper bereitzustellen, welche eine weitere, zum Befestigen von Elektroden an einem TIG-Schweißbrenner verwendete Vorrichtung darstellen. ….
[0008] Es existiert ein Bedürfnis für ein Verfahren, welches es ermöglicht, eine Elektrode leichter in einen Schweißbrenner einzusetzen, als mit einer separaten Zwinge und Gaslinse. …
[0021] … Die integrale Gaslinse/Zwinge 40 ist an dem Vorderende des Brennerkörpers 32 befestigt und die Endkappe 34 ist an dem hinteren Ende des Brennerkörpers 32 befestigt.
https://patents.google.com/patent/DE10338774B4/de

Diese Gaslinse dient dazu, das Brenngas (meist Argon) laminar durch den Schweißbrenner strömen zu lassen. Die "Gaslinse" ist dabei keine wirkliche Linse, sondern eine Art "Strömungsgleichrichter"

• Minimale Anlauffarben und sehr feinschuppige Schweißnähte durch eine in die Glasdüse integrierte Gaslinse
• Reduzierter Argongasverbrauch und laminarer Gasfluss durch die integrierte Gaslinse
https://eshop.technolit.de/WIG-Zubehör/Wibotix-System-/-1,60...

Wenn von Schweißgeräten für den Bereich des Wolfram-Inertgas-Schweißens (kurz: WIG) gesprochen wird, sind WIG-Schweißbrenner gemeint. Die kleinen, leistungsstarken, flexiblen WIG-Brenner von ABICOR BINZEL stehen für ausgefeilte Technik für die sehr anspruchsvollen und präzisen Arbeiten beim WIG-Schweißen. Alle unsere WIG-Brenner mit einem Handgriff tragen den Produktmarkennamen ABITIG®, der für »ABICOR BINZEL TIG-Brenner« steht. »TIG« ist die englische Abkürzung für »Tungsten Inert Gas«, die entsprechende deutsche Bezeichnung lautet »WIG« für »Wolfram-Inertgas«.
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ABICOR BINZEL WIG-Schweißbrenner sowie passende Verschleißteile können Sie über das weltweite Schweißfachhändler-Netzwerk von ABICOR BINZEL kaufen. Darunter beispielsweise original ABICOR BINZEL keramische Gasdüsen, Elektrodenhalter, Spannhülsen, Brennerkappen oder Wolframelektroden und vieles mehr.
https://www.binzel-abicor.com/DE/deu/produkte/manuell/wig-sc...

Das WIG-Schweißverfahren – die volle Bezeichnung für dieses Verfahren lautet nach DIN 1910 – Teil 4 Wolfram- Inertgasschweißen – stammt aus den USA und wurde dort 1936 unter dem Namen Argonarc-Schweißen bekannt. Erst nach dem 2. Weltkrieg wurde es in Deutschland eingeführt. In den englisch sprechenden Ländern heißt das Verfahren TIG nach englisch ”Tungsten” für Wolfram.
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Eine Faustregel sagt, daß bei Argon als Schutzgas und den am meisten verwendeten Wolframelektrodendurchmessern von 1 bis 4 mm je Minute 5 bis 10 Liter Schutzgas zugegeben werden sollten.
https://www.ewm-group.com/de/fachwissen/wig-schweissen-grund...

Keramik Gasdüsen für Gaslinsen-Brenner
https://www.schweissbedarf.ch/de/wig-schweissverfahren.html

In der Aufzählung "Laser gas, Non fixed building facilities, Cooling, Drains and sewage system, ***Lens gas***" darf man "Lens gas" als durch die Gaslinse strömendes Schutzgas verstehen.

Noch eine Erklärung zum "Laser gas":

Produktübersicht (Laser-, Betriebs- und Prozessgase, Schweißgase, Schneidgase).
Argon 4.6, gasförmig, verdichtet
Helium 4.6, gasförmig, verdichtet
Kohlendioxid 4.5, unter Druck verflüssigt
Lasergas I, gasförmig, verdichtet
https://www.westfalen.com/de/de/gase-energie/anwendungsfelde...

Lasergas I T50 MFl
Lasergasgemisch für MG-Coherent-Laserstrahlquellen. Die Lasergase sind Betriebsgase, die für die Erzeugung des Laserstrahles benötigt werden. Diese Standardgasgemische werden bei Laserstrahlquellen ohne Gasmischer eingesetzt.
Hauptbestandteil(e):
82 Vol.-% He
13,5 Vol.-% N₂
4,5 Vol.-% CO₂
https://shop.westfalen.com/de/de/Home/Gase/Schweiß-,-Schneid...

Lasergas IV T50 MFl
Lasergasgemisch für Mazak-Laserstrahlquellen hoher Leistung.
Hauptbestandteil(e):
74,9 Vol.-% He
23,4 Vol.-% N₂
1,7 Vol.-% CO₂
https://shop.westfalen.com/de/de/Home/Gase/Schweiß-,-Schneid...